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QuickOCT-4D —膜厚輪廓儀
iFocus晶圓檢測系統
EVG720自動化SmartNIL紫外納米壓印光刻系統
FR-Mic:全自動帶顯微鏡多點測量膜厚儀
FR-pRo:Thetametrisis膜厚測量儀
FR-InLine-在線薄膜厚度測量儀
FR-Scanner AIO-Mic-RΘ150-自動化高速薄膜厚度測量儀
FR-Ultra晶圓厚度測量系統
FR-ES精簡薄膜厚度測量儀
EVG850 TB自動化臨時鍵合系統
EVG620 NT掩模對準光刻機系統
LODAS™ – LI系列FPD Photomask缺陷檢查裝置
LODAS™ – BI12GlassWafe缺陷檢查裝置
LODAS™ – BI8Photomask Blanks缺陷檢查裝置
LODAS™ – AI50/100Photomask Blanks缺陷檢查裝置
FR-Ultra 晶圓厚度測量系統
FR-Scanner AIO-Mic-RΘ150自動化高速薄膜厚度測量儀
WM 300光學粗糙度測試儀