三維形貌儀是一款便攜式表面形貌測(cè)量儀，采用白光共聚焦技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面從納米到毫米量級(jí)的粗糙度測(cè)試，具有測(cè)量精度高，速度快，重復(fù)性好的優(yōu)點(diǎn)，該儀器的測(cè)量探頭可以任意旋轉(zhuǎn)，適合精密測(cè)量 不可移動(dòng)樣品表面形貌，同時(shí)適合進(jìn)行野外測(cè)試。

 

　　本儀器是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測(cè)量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測(cè)樣品的相對(duì)高度。

 

　　系統(tǒng)構(gòu)成：

　　光學(xué)照明系統(tǒng)：采用鹵素光源、中心波長為576nm、光譜范圍340nm—780nm；

　　光學(xué)成像系統(tǒng)：采用無限遠(yuǎn)光學(xué)成像系統(tǒng)、由顯微物鏡和成像目鏡組成；

　　垂直掃描系統(tǒng)：采用閉環(huán)反饋控制方式驅(qū)動(dòng)顯微物鏡垂直移動(dòng)、移動(dòng)范圍0-500μm、位置移動(dòng)精度 0.1nm；

　　信號(hào)處理系統(tǒng)：計(jì)算機(jī)和數(shù)字信號(hào)協(xié)處理器組成、采集系列原始圖像數(shù)據(jù)使用數(shù)字信號(hào)協(xié)處理器完成數(shù)據(jù)解析。

 

　　優(yōu)點(diǎn)：

　　1、高分辨率：檢測(cè)每個(gè)細(xì)節(jié)并提供*的分辨搴。

　　2、*精度：提供高精度，生成精密的3D物體圖像。

　　3、*真正便攜式設(shè)備：可裝入一只手提箱，攜帶到作業(yè)現(xiàn)場或者轉(zhuǎn)移于工廠之間。

　　4、價(jià)格實(shí)惠：具有競爭力，不需要連接CMM掃描臂或其他外部跟蹤裝置，且成本維護(hù)費(fèi)用極低。

　　5、手持式設(shè)備：設(shè)備的外形和重量分布*長期使用，不會(huì)導(dǎo)致出現(xiàn)肌肉和骨骼酸痛。

　　6、自定位：不需要額外跟蹤或定位設(shè)備，創(chuàng)新的定位目標(biāo)點(diǎn)技術(shù)可以使用戶根據(jù)其需要以任何方式、角度移動(dòng)被測(cè)物體。

　　7、真正自動(dòng)多分辨率：新型批量三角化處理裝置可在需要時(shí)保持更高分辨率，同時(shí)在平面上保持更大三角形網(wǎng)格，從而生成更小的STL文件格式。

　　8、雙掃描模式：用戶可使用安裝在設(shè)備頂部的按鈕在正常和高分辨率掃描模式之間切換。正常分辨率對(duì)于大型部件和動(dòng)態(tài)掃描十分有用，而高分辨率于要求嚴(yán)格的復(fù)雜表面。

　　9、功能強(qiáng)大，使用界面友好：即使在狹小的空聞內(nèi)使用都應(yīng)用自如，可掃描任何尺寸、形狀及顏色的物體。只需極短的培訓(xùn)學(xué)習(xí)時(shí)間即可上手。